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真空烧结炉的主要特点有哪些呢
发布时间:2020-07-27   浏览:2062次

  真空烧结炉的主要特点有哪些呢

  真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。

  同时,真空烧结炉亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。设备分为单工位、双工位及多工位。下面我们就看看它的主要特点:

  1、关键件全部采用进口件,具有高可靠性;

  2、真空烧结炉具有可编程的升、降温功能;

  3、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能;

  4、真空烧结炉具有高抗干扰能力;

  5、真空甩带炉具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。


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25 December 2018
真空烧结炉的组成你知道吗

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  真空烧结炉是利用了感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子,可分为工频、中频、高频等类型。是在真空的环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子,其加热的方式比较多,如电阻加热、感应加热、微波加热等;好的养护工作决定了炉子的使用寿命,   真空烧结炉的真空腔体是由炉体、炉盖和炉底组成;炉体由304不锈钢法兰和内外筒体组焊而成,内壁镜面抛光,炉体上开设有压铸接口、喷铸接口、旋转电极接口、甩带收集管、红外测温接口、模具预热电源电极引入接口;炉盖由整体实心304加工而成,上面开设有大直径观察窗,可直观的观测到炉内的各种实验情况;炉底也是由整体实心304加工而成,固定有甩带装置。整体外观哑光处理,整洁大方。   熔炼装置由超音频电源、水冷电缆、旋转电极、线圈、保温套和坩埚组成,通过更换线圈、保温套和坩埚实现不同容量。极限温度可加热至1700℃。(容量按照50g,200g,500g,1000g来配),熔炼完成后可通过手动倾倒到模具内。喷铸装置由气缸、石英管、时间继电器、气源恒定装置等组成,可实现小容量溶液的喷带和喷铸。(喷铸配石英管,极限容量50g)   压铸装置由特殊加压装置、压架、底座、压头和母模等组成,当溶液浇铸或者喷铸到母模内,启动加压装置对工件加压,提高其致密性。真空烧结炉的压铸底部压头有定位槽,保证上下压头同心度;底部压头可调节高度;整套压力架支撑在地上。炉体底部有防漏盘,防止熔液损坏真空腔体。   模具预热系统为防止浇铸到母模内的溶液冷却过快,特在母模外部加装感应线圈预热,由一台7.5Kw IGBT超音频电源、水冷铜接头和线圈等组成,如果不用预热,也可取下感应线圈,用闷头密封。预留有两路进出水,水流量可通过流量计来控制(专门用于水冷铜模)。抽真空系统由一台扩散泵、一台双极直联泵、三台气动挡板阀、真空管路和真空计等组成,冷态极限真空度优于6.67×10E-3Pa。炉体支架由型材和钢板拼装而成,门板全部采用数控加工,尺寸精度高,外表喷塑处理,整体布局合理,颜色搭配美观。和电控柜采用一体结构。   另外,真空烧结炉水冷却系统是由水冷机、各种阀门和水管等组成,带有电接点水压表,具有超压、欠压报警功能。

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