气相沉积炉的优势有哪些　　气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。　　电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；　　气相沉积炉采用智能压力调控，压力波动小；　　全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；　　多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　多级尾气处理系统，环境友好，能很快收集焦油及副产物，易清理；　　气相沉积炉可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高。

　　真空气氛烧结炉温度不达标的处理方法　　真空气氛烧结炉在高温实验中，温度不能达到实验温度值，可对电气系统进行校准，于一些常见的常压炉，假定温度上升非常缓慢，则需求检查空气循环系统，检查空气循环调度风门是否正确翻开，反之亦然，并检查空气循环电机是否正常作业。　　当设备在查验作业中遽然产生缺陷时，操控表面上会出现相应的缺陷闪现提示和动态报警提示。操作员可以根据“设备操作和运用中的缺陷打扫”一章快速检查缺陷归于哪种类型，然后请技术人员快速打扫缺陷，以保证查验的正常作业。其他环境实验设备在运用中会有其他现象，因此有必要剖析和消除特定现象。　　假定设备的低温不能抵达查验政策，查询温度改动，温度下降非常缓慢仍是在抵达必定值后趋于上升。前者应该连续。真空气氛炉是否在低温实验前单调作业室，并在实验后坚持作业室单调。假定作业室中的查验样本太多，作业室中的风就无法完全活动。　　真空气氛烧结炉常见的故障现象及解决方案，如下：　　故障一：真空度低　　原因：泵油污染、太少或太稀。　　解决方案：清洁真空泵并更换新的真空泵。　　故障二：抽气时间太短　　解决方案：延长抽气时间。　　故障三：排气滤清器堵塞　　清洁或更换排气滤清器。　　故障四：漏气：　　排空后关闭电源，检查电磁阀、管接头、真空泵吸入阀、工作室周围密封垫是否漏气。　　故障五：噪音大　　真空泵联轴器磨损或损坏，应更换。　　故障六：排气滤清器堵塞或安装不正确　　清洁或更换排气滤清器并正确安装。　　故障七：真空泵注油　　吸入阀的O形圈脱落，拔出泵喷嘴上的真空管，拆下吸入喷嘴，取出压缩弹簧和吸入阀，轻轻拉伸O形圈几次，重新插入凹槽，然后安装。